CSEAC 2025｜晶圆制造展区合集九

距离开幕还剩 48 天

第十三届半导体设备与核心部件展示会（CSEAC 2025）将于2025年9月4日至6日，在无锡太湖国际博览中心举办。6万平方，五大展区，七馆联动1000+展商，涵盖晶圆制造、封装测试、核心部件、材料等领域，CSEAC汇聚国内外知名企业，同期活动丰富，更完整呈现半导体行业动态，更及时把握当下行业趋势，更好应对未来的挑战与机遇！

诚邀行业同仁莅临盛会，携手见证这场年度性中国半导体盛宴！

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CSEAC 2025

展 商 风 采

中微半导体设备(上海）股份有限公司

展位号：A1-05

公司简介：中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类，包括十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司也在布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。

主要产品：ICP刻蚀设备、CCP刻蚀设备、TSV刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备、EPI外延设备等。

网址：https://

无锡邑文微电子科技股份有限公司

展位号：A1-62

公司简介：无锡邑文微电子科技股份有限公司(以下简称“邑文科技”),成立于 2011年,是一家以“中国芯”为产业基调,面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。在科研与自主研发领域，邑文科技持续与行业顶尖的科研机构保持长期稳定合作,可提供极具价格竞争力的制造装备和高可靠性的业内特色工艺解决方案。经过多年研发创新,邑文科技已掌握干法刻蚀、薄膜沉积、真空热处理等领域的多项核心技术,并广泛应用于半导体的前端工艺,特别是在化合物半导体、MEMS 以及逻辑、存储等先进制程领域。

主要产品：4/6/8/12英寸，刻蚀（ICP、CCP、Strip），薄膜（PVD、CVD、ALD、UV、RTP）等。

网址：https://    

无锡邑文微电子科技股份有限公司

展位号：A1-62

公司简介：无锡邑文微电子科技股份有限公司系专注半导体前道工艺设备研发与制造的高新技术企业。公司由设备翻新业务转型为自主研发模式，已形成刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备两大核心产品体系。

主要产品：刻蚀、去胶、CVD、ALD等。

网址：https://    

无锡邑文微电子科技股份有限公司

展位号：A1-62

公司简介：无锡邑文微电子科技股份有限公司系专注半导体前道工艺设备研发与制造的高新技术企业。公司由设备翻新业务转型为自主研发模式，已形成刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备两大核心产品体系。

主要产品：刻蚀、去胶、CVD、ALD等。

网址：https://    

一塔半导体（安徽）有限公司

展位号：A3-172

公司简介：一塔半导体（安徽）有限公司，专注于半导体先进制程设备研发、生产及销售，产研基地分别位于合肥经开区和浙江德清（瑶光半导体）。一塔半导体（ETA-Semitech）已成功正向研制外延生长系统（MOCVD）和退火系统（RTP及激光退火），并实现了多项创新技术方案的申请与应用，涵盖自主研发的SiC/GaN外延生长技术，快速热处理/热氧化/热氮化（RTA/RTO/RTN）技术，以及功率芯片背面激光退火、金属合金等系统解决方案。目前，公司已获得多项发明授权，设备性能在业界处于先进水平。

主要产品：MOCVD外延系统、激光退火系统、RTP快速热处理系统等。

网址：/

杭州欧诺半导体设备有限公司

展位号：A1-95

公司简介：杭州欧诺半导体设备有限公司专注于芯片行业常压热扩散炉、低压化学气相沉积炉和原子层沉积炉的研发与制造，致力于为客户提供高性能、高性价比的设备，配套持续的软件服务、应用解决方案和完善的售后服务。

主要产品：常压热扩散炉，低压化学气相沉积炉，原子层沉积炉等。    

合肥致真精密设备有限公司

展位号：A1-37

公司简介：公司成立于2021年5月，是一家致力于提供高精度薄膜沉积设备和工艺的高新技术企业，主营业务为集成电路高端薄膜设备研发、制造和销售，提供2-12英寸的一站式高精度薄膜沉积设备和工艺解决方案。

主要产品：科研级磁控溅射设备、产业级磁控溅射设备、电子束蒸发设备、分子束外延设备、脉冲激光沉积设备等。

上海芯上微装科技股份有限公司

展位号：A3-119

公司简介：上海芯上微装科技股份有限公司（英文名称：AMIES Technology Co., Ltd.），是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。公司技术团队约600人，拥有上海市劳动模范、上海市优秀技术带头人、上海市青年科技启明星计划、上海市产业菁英领军人才，以及浦东明珠计划人才/工程师等高层次人才十数人。

主要产品：先进封装光刻机，先进封装量检测设备，先进封装键合机、对准机，激光退火设备，晶圆缺陷检测设备等。

*报名活动最终解释权归CSEAC组委会所有

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