新晋会员单位||中电科风华半导体缺陷检测设备Mars 4410为我国第三代半导体产业发展保驾护航

热烈欢迎中电科风华信息装备股份有限公司加入广东省半导体行业协会会员大家庭，成为协会新晋会员单位。

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公司简介

中电科风华信息装备股份有限公司成立于1998年，是首批国家级创新型企业，国家级“专精特新”小巨人企业，国家第三代半导体技术创新中心（山西）共建单位。

公司总部在山西太原，设立有上海分公司、深圳分公司， 研发人员占比超过60%，每年研发投入占比超过10%，与浙江大学、之江实验室、海康机器人开展产学研用深入合作，在半导体、高端装备、电子信息等领域承担了30余项国家级、省部级科技创新项目。

公司作为专用电子装备国家队，以“国内卓越、世界一流”为发展目标，聚焦半导体产业高端装备国产化，拥有自主知识产权200余项，获得省部级科技进步奖15项。产品布局分为半导体显示、半导体检测、光伏新能源、汽车电子等几大专用生产设备板块，能够全方位为客户提供个性化定制服务、系统集成解决方案。

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核心产品介绍

Mars 4410

Mars 4410是一款针对碳化硅抛光衬底片、同质外延片、腐蚀片的自动化缺陷检测设备，可兼容4、6、8英寸圆晶。该设备具有高成像分辨率、低噪声、高检测通量、高检出率、高准确性等优势，能满足提升碳化硅器件良率、大规模批量检测的需求。既适用于工业化生产，也可用于科学研究。

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联络方式

公司名称：中电科风华信息装备股份有限公司

联系人：张先生

电话： 0351-6527378       

传真：0351-6523539

邮箱：zj@zdkfh-ie.com

网址：www.zdkfh-ie.com

地址：山西省太原市山西转型综合改革示范区潇河产业园区宏业东路11号

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