新晋会员||瑞乐科技致力于国家半导体设备及控温技术国产化

热烈欢迎广东瑞乐半导体科技有限公司加入广东省半导体行业协会会员大家庭，成为协会新晋会员单位。

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公司简介

广东瑞乐半导体科技有限公司成立于2016年，主营业务为半导体前道晶圆制造制程设备的开发、制造。公司主要产品为快速退火炉与TC Wafer晶圆测温系统。公司的解决方案包括创新的控温与检测设备及生产工艺、控制软件和服务。公司总部位于广东省佛山市南海区万洋众创城。瑞乐科技专注于晶圆控温及检测系统，以是一家高精度温度系统方案供应商。为IC集成电路及化合物半导体、MEMS芯片、LED芯片等特色工艺客户提供设备服务。瑞乐科技以创新、专注、诚信正直、团队合作等核心价值观，深耕于半导体设备行业一直致力于为国家半导体设备及控温技术国产化做出贡献。

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核心产品介绍

一.RTP快速退火炉

快速退火炉（RTP）是在保护气氛下，以红外可见光加热单片 Wafer 或样品，工艺时间短，控温精度高，适用 2-12 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系统和其他 RTP 系统，其独特的腔体设计、先进的温度控制技术和独有的 RL900 软件控制系统，确保了极好的热均匀性。

产品特点：1.红外卤素灯管加热，冷却采用风冷。2.灯管功率PID 控温，可精准控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性。3.采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在 Wafer 表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性，大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理。4.工艺气体标配两组(最多可选4组)。5.可测单品片样品的最大尺寸为4/6/8/12英寸 (150mm) :采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。

目前已上市的快速退火炉（RTP）包括桌面型6寸、半自动机型8/12寸、全自动机型6/8寸，其广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产，和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中，通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能，技术指标高、工艺复杂、专用性强。

二.晶圆测温系统

TCWafer 是温度传感器直接镇嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布；同时可以实时监控控温过程的温度变化，实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

晶圆测温TC Wafer广泛应用与以下场景：半导体制造厂Fab，硅片厂，晶圆制造厂，PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate，半导体设备制造商，高温工艺设备腔体温度的监控等。

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联络方式

公司名称：广东瑞乐半导体科技有限公司

联系人：黄觉辉

电话：15913117793               

传真：0757-82560052

邮箱：rd01@rybd.com.cn

网址：www.rybd.com.cn

地址：广东省佛山市南海区狮山镇小塘工业大道82号万洋众创城1期1栋

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