展品推荐 | 聚焦结构超滑技术产业化应用，清力技术颠覆性解决物联网、高端制造、生物技术等众多领域科技创新痛点

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产品介绍：

射频（Radio Frequency，简称RF）是频率范围在0.3MHz至300GHz的高频交变电流或者高频电磁波的简称。RF MEMS开关对电路中的射频信号进行通断、路由、相位改变，是射频系统基础核心器件，利用结构超滑副作为电流传输界面，可以将RF MEMS开关传输功率和寿命提高1-2个量级。射频开关用于对射频信号进行切换，将广泛应用于无线射频前端、卫星通讯、雷达系统、自动测试系统、医疗等领域。

结构超滑RF MEMS核心竞争力：

界面全面积接触；

超长寿命：数十亿次；

大功率：>20W；

快响应：1~20μs；

带宽：=DC-6GHz；

驻波比：<1.4；

隔离度：>；

插入损耗：<0.。

现阶段成果：

已申请12项专利，其中PCT专利3项；

已研发出实验室产品样机；

获得行业头部企业和深圳市科创委千万级投资。

产品介绍：

超级微发电机是一种能够将周边物理或生物环境中随处可见，微弱、低频、随机的机械或热能转化为电能的器件，具有尺寸小、适用范围广泛等特点，基于结构超滑技术实现接触界面的极低摩擦和磨损。我司已研发出世界首台超级微发电机，满足极长寿命、微小型化的供电需求（千亿美元的市场）。将广泛应用于智慧牧业、智能城市、智慧交通、智能家居、纳米机器人、智能芯片等领域。

结构超滑超级微发电机核心竞争力：

能量损耗极低；

微型化：封装后3nm×3nm；

寿命长：>20年；

高输出密度；

超高可靠性。

现阶段成果：

已申请13项专利；

2023年3月，在大气环境下实现稳定的结构超滑状态，该研究论文被评为Nature Communications 亮点论文；

2022年获科技部首届全国颠覆性技术创新大赛最高奖；

2021年4月发表第一篇超滑发电机原理样机论文，被评为Nature Communications 亮点论文。

结构超滑导电滑环是实现旋转机械部件动力传输与信号传输的关键部件，利用电刷和导电环之间的结构超滑接触，实现界面无磨损，提高导电滑环可靠性和电流传输稳定性。将广泛应用于国防及航空航天、雷达系统、测试设备、视频监控、风力发电等领域，提高导电滑环可靠性和电流传输稳定性。

结构超滑导电滑环核心竞争力：

国内首创的第四代导电滑环接触系统，将彻底解决现有导电滑环的磨损   问题；

摩擦系数: <0.005；

磨损率接近0；

应用转速: 600rpm；

电流密度: 10GA/m2。

成果：

结构超滑导电滑环样机2021年7月15日通过深圳市坪山区科创局组织的专家验收。 

产品介绍：

平台洁净实验室面积达1000㎡，具有完备的6英寸超滑MEMS/NEMS芯片研发与制备能力，部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有光刻设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、表征测试设备、器件后道封装设备以及自主研发的超滑实验设备等共计200余台套。平台基于已有设备，对外提供工艺整合、共同工艺开发等技术服务。目前已整合的先进工艺包括：光刻（紫外光刻，激光直写，电子束光刻， Talbot光刻等）、镀膜（PVD、CVD、ALD等）、刻蚀（ICP、RIE、IBE、湿法等）、键合、CMP、表征测试、封装等工艺。

可为业内提供通用制造能力：

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深圳清力技术有限公司（FrictionX清力）是依托深圳清华大学研究院超滑技术研究所成立的高新技术企业，致力于清华大学、深圳清华大学研究院超滑技术研究所等高校、科研院所的基础原创性科技创新成果——结构超滑技术的产业化应用。自2019年成立以来，FrictionX清力面向世界科技前沿，聚焦创造和研发基于结构超滑体系的微机电系统（MEMS）、微发电机、微纳传感器、电接触关键元器件、精密轴承、下一代存储技术、光学设备等具有重大需求或巨大市场前景的革命性技术产品；基于结构超滑近零摩擦、零磨损的技术优势，颠覆性解决物联网、高端制造、生物技术、航空航天、绿色环保等众多领域面临的摩擦磨损问题；通过“结构超滑+X”构建学界共同体，围绕结构超滑技术不断催生出重大源头技术集群，解决重点科技创新问题，促进产业变革升级。

深圳超滑技术平台（SSTP）暨超滑所实验室由深圳市政府和坪山区政府支持建设、深圳清华大学研究院超滑技术研究所负责搭建运营，于2021年在深圳坪山落成，是集结构超滑技术创意和研究公共实验开发、创新技术产业化支撑、公共微纳加工技术服务和科技创新教育重要技术支持为一体的颠覆性技术应用研发平台。

平台拥有世界一流的结构超滑研发/微纳加工设备，主要工艺能力包括：光刻、镀膜、刻蚀、键合，抛光，表征测试，封装，器件测试等。在微纳加工领域为企业、科研院所及高校提供工艺整合、共同工艺开发等技术服务。

CIOE光电子创新展重点展示科研院所，高等院校和高新技术企业的前沿光电创新产品及技术，集中展示其孵化企业最新产品， 帮助光电企业及投融资机构精准对接科研院所资源，进行商贸沟通达成商业合作，获悉前沿应用、洞察新兴趋势。

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