展商精选丨五临天光电，携准分子172nm光清洗机助力提高显示和半导体用户市场的竞争力

COMPANY

公司简介

常熟五临天光电科技有限公司（展位号：5G38）是专业从事紫外UV相关设备研发、制造、销售及服务四位一体的企业。

公司积累十多年行业经验和高端设备开发经验，自主开发了面向显示行业和半导体行业的UV/EUV设备，聘请行业内的国际顶尖人才在德国组织实验研究，并成功国产化核心部件——UV/EUV光源。

公司坚持以核心技术为驱动，以创新发展为信仰，目前已经实现了核心技术自主可控，把创新主动权、发展权牢牢掌握在自己手中。从用户角度出发，降低用户生产成本，提升产品良率，从而提高用户产品在国内外市场的竞争力。

APPLICATION

产品应用

1、表面清洗：可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；

PRODUCTS

推荐产品

准分子172nm/EXCIMER 172nm

EUV 172nm特点介绍：

1、氙准分子灯，脉冲模式；

2、峰值波长172nm的真空紫外线(VUV)；

3、脉冲模式产生辐射是传统输出的四倍；

4、达到40%的光电转化率；

5、光子能量高达7.2eV，足以打开大多数分子键，可实现传统汞灯很难实现的光化学反应。

EUV 172nm产品应用：

表面处理、光清洗、表面活化及其他特殊应用。

EUV 172nm表面光清洗技术原理：分解有机物

由于7.2eV的高光子能量，有机物如灰尘、脂肪、和油污，在某些情况下，以及氧化物层，在某些情况下，都可以被分解；臭氧存在于准分子模块和基材之间，它能起氧化和溶解作用。

EUV 172nm表面活化技术原理：亲水性UP

通过准分子172 nm光源照射去除杂质或钝化层，同时形成亲水性；其结果是一个更加干净的表面，具有更加均匀提升的表面能和表面亲水性能，同时提升附着力；表面能决定了润湿性。可以通过测量表面与液体之间的接触角评估其性能。

准分子EUV表面处理技术优势：

EUV VS 电晕和等离子

冷光源 低能量 无静电

基材零损耗 水滴角可控 性能最优化

1、准分子的冷光极大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构，从而保证更好的粘接结果；

2、准分子光保持较低能量，意味着基材表面不会像电晕和等离子体那样变得粗糙；

3、在电子显微镜下观察经过放电处理的表面，将会发现表面会有一定程度上的损害，上面有大量的分散孔洞。当观察相同的材料类型经过准分子处理后，其表面保持光滑，且均匀性较好，不会产生花斑现象；

4、由于没有电场，准分子不会像其他清洗设备所受到灰尘污染，并可以应用于所有电子产品，不会存在放电有关的静电问题；

5、针对不同材料，可在一定范围内控制合适的水滴角，使其性能达到最优；

6、该过程更加温和，是一种理想的清洗和活化的方法，普遍应用在显示屏，半导体芯片，印刷电子产品，电池部件行业，汽车工业的功能性表面应用以及芯片行业的实验室设备。

准分子EUV设备技术优势：

1、臭氧浓度准确控制，臭氧浓度的控制在产品的测试中起关键性作用，不同材质的基板所需要的臭氧浓度不同，不同的臭氧浓度对同一产品表面有机物所降低的接触角也不同，本设备能实现臭氧浓度准确控制，客户可以更有效的找到不同基材的参数，对提高产品良率提供更多的数据支持；

2、灯管使用寿命更长，本公司提供改善灯管的性能，控制作业流程，在产品进入设备灯箱前和灯箱后一定的距离各增加一个传感器，产品达到入口传感器处，设备电灯，产品离开灯箱范围，自动关灯，减少灯管不需要时的寿命浪费，既增加了灯管的寿命，又为客户节省电费；

设备系列一：固定式准分子系统

应用范围：

用于基材固定处理的准分子模块。特别适用于诸如晶片、PCB和玻璃应用包括电子和半导体制造，传感器制造和许多其他的。

特点：

1、不同的标准尺寸从150mm-300mm；

2、整个辐射区域内具有极好的均匀；

3、恒定强度，过程持续稳定；

4、适用于高清洁度要求的工艺。

设备系列二：准分子在线表面处理系统

应用范围：

用于在线的表面处理应用的准分子模块。适用于激活和清洁表面，比如薄膜，纸张，板材和金属。比较适合生产特殊的薄膜，板材和显示屏，提高其附着力和超哑效果。

特点：

1、辐照尺寸从100mm到1420mm宽度不等；

2、可提供实验室设备；

3、稳定的残氧控制。

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