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产品介绍:
主要用于半导体硅片、石英玻璃、蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其对于大尺寸、超薄工件的加工具有明显的优势。采用拉力传感器及电气比例阀,PLC实现压力闭环控制,压力控制精准,下盘采用流体轴承支撑技术,运行平稳,终身免维护,对于大尺寸超薄工件的加工有明显优势 四电机单独拖动,工艺参数(速度、压力、时间等)设置具有配方功能,可配套在线厚度控制装置,有效防止爆盘并可实现在线厚度控制,具有供液系统流量在线监控功能,可选配MES通讯单元,可实现加工工艺数据的抛转及上传下发。
应用领域:
先进制造,光学加工装备,半导体加工/制造,半导体设备
22BF 精密双面平面研磨机/抛光机产品介绍:
主要用于硅片、蓝宝石、半导体材料、蓝玻璃、陶瓷片、晶体及其他硬脆材料的高精度双面研磨。
1、整机采用PLC+PT+电气比例阀+加压气缸+精密拉力传感器实现高精度压力闭环控制,压力控制精确,压力控制精度可达±2Kg;
2、上盘系统采用轴承卸荷双安全挂钩装置,并具有气源欠压保护及断气保持装置,安全性高;
3、四电机独立同步拖动,主机精度高传动平稳上采用日本高性能的PLC及人机界面;自编程实现低速平稳、启停同步运转控制,速度精度±0.5rpm;
4、上盘调心装置,旋转与调心动作分离,最大保证了上下盘动态条件。
应用领域:
先进制造,光学材料,光学元件,光学生产及加工设备,汽车主机厂商,半导体加工/制造,半导体设备
13BF 精密双面平面研磨/抛光机苏州博宏源机械制造有限公司是专业研发、制造、销售各类高精度单双面研磨/抛光、减薄边抛及各种异形件的软抛等专用设备的高科技企业,自主研发的产品有:32B、28B、22B、18B、16B、15B、13B、9B、485、520等单/双面研磨/抛光设备及2.5D/3D全自动扫抛机,用于蓝宝石、蓝玻璃、手机面板、陶瓷、触摸屏、光学、半导体、碳化硅、金属等硬脆材料。
CIOE精密光学展&摄像头技术及应用展是亚太地区极具影响力的光学行业专业展览会,展会汇聚光学元件及材料、镜头及模组、镀膜、机器视觉、AR&VR、光学测量等光学全产业链板块的优质企业,搭建光学产业生态圈,助力消费电子、先进制造、安防、医疗等光学下游应用企业挖掘行业新应用及新需求,进行商贸沟通达成商业合作,获悉前沿应用、洞察新兴趋势。
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