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Justem宣布,考虑到现有静电消除设备的供应规模,这是一笔大订单。去年以来,该公司一直与全球显示公司合作,验证高真空离子发生器系统(VIS)的量产。据介绍,该技术已通过供应有机发光二极管(OLED)面板量产线而获得认可。
VIS 是一种通过消除 OLED 沉积工艺前后产生的静电来提高可靠性的设备。与现有的静电去除方法不同,Justem 的 VIS 仅在高真空环境中产生离子,可以最大限度地减少对晶圆或玻璃基板沉积表面的损坏。该公司强调,由于在高真空环境下的过程中不需要额外的气体供应,因此可以在没有压力波动的情况下有效去除静电。
Justem预计VIS将成为OLED工艺中静电控制的必备设备。随着市场的扩大,预计未来可能会有更多订单。Justem 技术研究所副所长 Ha Jeong-min 表示:“我们很高兴为市场提供显示器和半导体方面最佳的产量提高解决方案。随着静电消除技术在高分辨率 OLED 制造中变得越来越重要,过程中,Justem技术将受到高度重视。”(来源:Wit Display编译)
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