东京电子推出Acrevia，一种用于EUV光刻超精细图案化的气体团簇束系统

本文资讯来源：东京电子Tokyo Electron官网

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Tokyo Electron宣布推出Acrevia^TM，这是一种气体团簇束（GCB）系统，旨在修改EUV光刻形成的超细图案的关键尺寸和形状。TEL独特的GCB技术提供了前所未有的低损伤处理，并实现了进一步的器件缩放、产量提高和EUV图案化成本降低。Acrevia^TM在单个EUV光刻图案化和随后的干法蚀刻步骤之后部署在半导体制造工艺流程中。用定向气体团簇束照射图案化特征，该束以最佳的晶片倾斜角度蚀刻特征侧壁，以修改关键尺寸并调整超细图案。Acrevia's^TM精密晶圆扫描系统可以使用TEL的创新位置特定处理（LSP）技术控制晶圆上任何点的蚀刻量，从而实现无与伦比的晶圆内均匀性校正能力。Acrevia^TM还可以降低图案侧壁上的线边缘粗糙度（LER），减少随机岩性缺陷以提高产量。

东京电子DSS BU总经理Hiroshi Ishida表示：“Acrevia采用了我们的原创技术，能够实现高蚀刻速率和低损伤图案化。”。“在日益具有挑战性的先进图案化领域，Acrevia使进一步扩展成为可能，并最大限度地提高了生产率。展望未来，我们将继续开发超出客户期望的技术，为半导体器件的进步做出贡献。”

2024年10月29日至31日，FINETECH JAPAN 2024（2024日本国际平板制造设备及技术展览会）将在日本东京都市圈千叶幕张展览馆盛大举行，同期展会日本国际材料周也将精彩启幕，可全方位了解日本本土及全球半导体、显示领域材料、设备等技术和产品最新研发进展。

FINETECH JAPAN汇聚了来自全球的显示及半导体产业链知名企业，搭建了盛大的学习、交流与商贸平台，提供了与来自日本本土以及世界各地的行业专业人士见面的机会。据官方数据预估，今年展会（含同期展会日本国际材料周等）将有1000余家展商汇聚现场，并有望吸引来自显示及半导体产业链，以及汽车设备、电子元件设备、薄膜材料、太阳能电池、电子制造商、汽车设备制造商、医疗器械制造商等细分领域的近50000专业人士来到现场。

自2006年开始，深圳市平板显示行业协会（SDIA）便开启FINETECH组团，作为该展会长期以来的密切合作伙伴，今年我们将再次组织会员单位及相关企事业单位前往日本参与此次盛会，助力企业开展更加广泛的技术、材料、设备、模组、终端等领域的资源对接与合作。我们还将与当地企业紧密联系，组织实地考察，加深沟通交流。

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展会介绍

（1）展览名称

FINETECH JAPAN 2024

2024年日本国际平板制造设备及技术展览会

（2）展览日期

2024年10月29日-10月31日（周二至周四） 

（3）参团日期

2024年10月27日-11月02日（周日至周六）

（4）展览地点

日本千叶幕张展览馆（Makuhari Messe）

（5）主办单位

 励展博览集团Reed Exhibitions

（6）展示范围

• 零件和材料

  玻璃和塑料基板、硅和陶瓷基板、面板和有机电致发光材料、光刻材料、导电和绝缘材料、光学材料等；

• 显示和传感器

  LCD显示、触摸屏显示、LED显示、图像传感器、力传感器、陀螺仪传感器等；

• 制造设备

  曝光设备、涂布机和显影剂、清洁设备、粘合设备、测试维修机器设备、洁净室测量设备等；

• 印刷电子

  印刷技术、金属纳米颗粒糊剂、评估器和分析、喷墨技术、纳米墨水打印技术等。

（7）同期展会联动，体验更多精彩

同期15th Highly-functional Material Week TOKYO(日本国际材料周)，汇集了包括：

• FILMTECH JAPAN TOKYO(高功能薄膜展)

• PLASTIC JAPAN TOKYO(高性能塑胶展)

• METAL JAPAN TOKYO(高性能金属展)

• CERAMIC JAPAN TOKYO(高性能陶瓷展)

• Adhesion & Bonding Expo TOKYO(胶粘粘合展)

• Paint & Coating JAPAN TOKYO(高性能涂料展)

• Sustainable Material Expo TOKYO(可持续材料展)；

同期还有Photonix2024(光 电 激 光 展)，多展齐开，分外精彩！

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行程概览

备注：请以最终行程安排为准

天谷製作所

天谷制作所主要制造半导体用成膜装置，自1970年开始开发销售横向分批式常压CVD装置以来，以生产半导体用成膜装置的常压CVD装置为中心开展业务。近年来，作为对新领域的挑战，开发并销售了用于太阳能电池制造的高产常压CVD设备。

瑞萨电子株式会社（Renesas）

瑞萨电子株式会社，提供专业可信的创新嵌入式设计和完整的半导体解决方案，旨在通过使用其产品的数十亿联网智能设备改善人们的工作和生活方式。作为全球领先的微控制器供应商、模拟功率器件和SoC产品的领导者，瑞萨电子为汽车、工业、基础设施及物联网等各种应用提供综合解决方案。

秋叶原电器街

秋叶原电器街是家电与电脑店汇集的日本最大规模电器街，与大阪市的日本桥、名古屋市的大须一起被并称为“日本三大电器街”。其中，友都八喜是日本最大规模的家电量贩店，主要销售相机、电脑、生活家电、游戏等。Sofmap AKIBA站前馆有PC/Mac、iPhone/iPad、智能手机、数码相机等电子产品以及电视、冰箱、洗衣机等各种家电用品。秋叶原电器街是了解日本家电及消费类电子市场的绝佳地点。

秋叶原

图源：东京观光指南

日本家电卖场

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费用说明

参展费用

人员参团费用

参展团员：RMB20800元/人（双标间）

观展团员：RMB22800元/人（双标间）

——费用包含：

1、机票：往返机票团体经济舱及机场税、燃油附加税等。该报价机票要求同时同团进出，更改机票日期、时间等特殊机票需要额外加收费用、另行报价。

2、签证：由SDIA统一办理签证。护照有效期必须在2025年6月28号以后。

3、酒店：东京6晚，双人间，可以改单间；如对房间和个人生活习惯有特殊要求，请提前告知以便安排。

4、用餐：行程所列明餐饮；

5、交通：行程所列明交通；

6、保险：环球商旅保险；

7、领队：SDIA专业领队全程随团服务

——费用不含：

1、个人消费、行李超重费；

2、因罢工、恶劣天气等不可抗因素导致的航班取消与行程延阻产生的额外费用；

3、单人房差价（如需调整为单人房，需补差价RMB3800元）；

4、其它类别保险（可自行另外购买）；

5、行程未列费用。

 特别说明：

 为了便于统一管理，我会要求参展/参团人员务必全程随团。

 由于政策的不确定性，关于参展以及人员参团费用均基于发文时政策情况，最终以实际情况为准，深圳市平板显示行业协会拥有最终解释权。

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报名/咨询热线

联系单位：深圳市平板显示行业协会

联系人：黄先生/Andy Huang

电话：150 

邮箱：

联系人：周小姐/Eason

电话：513

邮箱：

截至目前，SDIA专区优质展位即将售罄

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往届SDIA日本FINETECH JAPAN组团回顾

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