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DIC 2026展商丨先普科技，气体微污染控制解决方案供应商

来源：世展网分类：显示行业资讯 2026-06-25 12:03 阅读：2420

上海先普科技股份有限公司展位号：N4-A15先普于2004年在上海成立，是一家专业为半导体行业提供气体微污染控制解决方案的供应商。公司所生产的大宗气体(N, H, O, Ar, He, CDA)纯化设备，已持续不断地向12寸、8寸半导体芯片厂和化合物半导体厂交付和投用。先普的XCDA和CO纯化器，已成功应用于若干12寸线先进制程的光刻工艺。先普的POU纯化器和过滤器，已广泛应用和配套于众多半导体芯片厂的工艺设备，如外延，CVD, MOCVD等。

推荐产品

01先普POU气体纯化器该产品拥有9NP系列 / P9系列 / 7NP系列先普POU高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体(进气纯度5N)中的HO, O, CO, CO, H, NMHC等杂质去除到1ppb以下(7NP系列为5ppb以下)，并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。产品应用：先普的大宗气体（N, H, O, Ar, He, CDA）气体纯化设备，已持续不断地向12寸、8寸半导体芯片工厂和化合物半导体工厂交付和投用。先普的XCDA和CO纯化设备，已成功应用于若干12寸线先进制程的大型半导体芯片制造工厂的光刻工艺。先普的POU纯化器，已广泛应用和配套于众多半导体芯片工厂的工艺设备，如EPI, CVD, MOCVD等。

02先普气体过滤器该产品拥有PFAT / PFPT / PFSS / IGS / PK / DF系列先普以多年来为客户提供气体纯化与过滤解决方案的经验，应国内半导体产业国产化需求，推出0.0015微米高精度气体过滤器，覆盖流量范围从30slm到10000Nm3/h。产品应用：先普的过滤器，已大量配套于半导体芯片工厂大宗气站及众多半导体工艺设备、气柜、VMB等。

03先普气体纯化设备该产品拥有7NS系列 / 7NG系列 / 7NK系列 / 9NS系列 / 9NG系列采用化学反应与物理吸附相结合的方法，在常温下将工艺气体中的HO, O, CO, CO, H, NMHC等杂质去除到1ppb以下(7NS系列 / 7NG系列 / 7NK系列为5ppb以下)，配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器，流量最大可达20000Nm3/h。

04先普Simlytic二元气体浓度分析仪采用先进的传感技术和精密电子控制分析电路，可精确分析出二元混合气体的混合比例。分析仪采用智能化设计，配备直观易用的界面和先进的数据处理功能，可轻松设置监测参数、获取详细的历史数据并实时掌握气体浓度状况。先普二元气体浓度分析仪经过严格的质量控制和样气标定，性能稳定可靠，适用于各种二元混合气体的浓度测量。可广泛地应用于气体混合装置，气体回收装置，变压吸附装置，载气掺杂等装置，及各种半导体工艺设备中。产品应用：先普的二元气体浓度仪，应用于半导体工艺设备，如EPI, MOCVD等工艺设备，已获得国内头部设备厂商的验证以及批量订单。

DIC 2026

由中国光学光电子行业协会液晶分会（CODA）主办的全球显示技术年度盛会--DIC 2026系列会展活动将再度登陆上海。其中，DIC FORUM 2026中国（上海）国际显示产业高峰论坛将于8月26-27日在上海浦东嘉里大酒店隆重开幕，DIC EXPO 2026国际（上海）显示技术及应用创新展将于8月26-28日在上海新国际博览中心举办。

“多元赋能全面升维”，DIC 2026将继续推动我国显示产业不断升级发展，促进我国显示产业从规模领先向价值领先转变，为全球显示产业提供技术升级、绿色转型的中国方案，共同构建开放、包容、共赢的全球显示产业生态。

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