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DIC 2026展商丨越好电子，真空镀膜装备国产化先锋

来源：世展网 分类：显示行业资讯 2026-06-26 12:05 阅读：1924
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2026年上海国际显示技术及应用创新展DIC EXPO

2026-09-28-09-30

距离63天
公司简介

安徽越好电子装备有限公司

展位号：N4-A67

安徽越好电子装备有限公司始创于2021年12月，是集研发、智造、配套服务于一体的国家级高新技术企业、安徽省专精特新重点企业。公司聚焦半导体及新型显示高端装备核心赛道，专业从事真空镀膜等高端装备的研发与量产，全力突破行业技术壁垒，加速关键设备国产化替代进程，筑牢产业自主可控根基。秉持科技为本的发展理念，公司整合上下游产业链资源，打造涵盖镀膜设备、核心零部件、工艺材料、精密加工及定制化维保服务的一站式综合解决方案。凭借领先的技术研发实力，产品性能与技术水准跻身国际先进行列，持续为半导体、显示产业赋能，提供高可靠性、高性价比的国产化真空镀膜装备。推荐产品01G6枚叶式PVD设备G6枚叶式PVD设备可实现中小尺寸OLED显示器件的薄膜晶体制备，面向新型显示核心工艺，越好电子自主研发，首创国产G6枚叶式真空溅镀装备，采用多腔室（T0传输腔、PM工艺腔、阴极腔）枚叶式架构，集成Robot搬送、ESC静电吸盘、精密磁控及流体控制等模组，并规划AI在线调节磁场分布智能化功能。产品亮点：亮点1（高精度磁控在线调节系统）：磁棒支持X轴（180mm）与36组独立Z轴（25mm）真空内电机驱动，实现八向调节和磁场强度在线调整，表磁均匀性<5%，并结合36组独立Z轴电机细化局部靶基距调控，显著提升膜厚与方阻均匀性（U%调试至6%）。亮点2（优化的溅射效率与均匀性策略）：采用磁棒分区组合+磁场调整辅助+扫描镀膜（X轴摆动逻辑）+气氛管控四重手段，有效提升靶材利用率（U%），并降低边缘效应对大尺寸基板（G6）的影响。亮点3（智能化与高可靠性人机交互）：人机系统集成多腔真空曲线、电机扭矩记录、报警处理建议及电源实时记录，配合破片监控与温度监控，AI在线调节磁场分布智能化功能，强化工艺稳定性和设备综合效率。DIC 2026

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