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DIC 2026展商丨迈科微真空，高性能干式真空泵解决方案服务商

来源：世展网 分类：显示行业资讯 2026-07-23 12:03 阅读：654
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2026年上海国际显示技术及应用创新展DIC EXPO

2026-09-28-09-30

距离63天
公司简介

苏州新大陆精密科技股份有限公司展位号：N4-A133MICROWAY迈科微是苏州新大陆精密旗下真空泵品牌，专注于高性能真空泵技术研发、推广与应用。秉持”节能真空引领者“的理念，致力于成为一家泛半导体领域真空泵及解决方案领先的服务商。MICROWAY迈科微自主研发创新，首创混合干式真空泵，综合性能达到行业领先水平。除此之外，迈科微还量产了多款干式真空泵，核心零部件全部自研自产，产品整机实现全国产化。万事开头难，坚持通过自主创新实现国内真空泵关键技术首创只是迈科微人的一小步。未来我们将努力打破国际垄断局面，破解我国泛半导体领域关键设备‘卡脖子’难题。在细分的、专业的（micro）真空泵领域，以“在路上（Way)”的拼搏姿态，走出独属”迈科微“的专精特性道路（Way)，这就是”Microway“的品牌内涵，迈科微人的事业信仰。

推荐产品

01EDS系列真空机组MICROWAY迈科微MHS系列混合干泵，采用自主知识产权的转子结构，拥有大通径、无死角的优势，排气孔温度可控，解决了结焦、碳化等行业痛点，在同等抽气能力下拥有更低的能耗、更小的体积、更低的噪音和更便捷的维护，可应用于泛半导体清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，性能稳定。EDS系列干泵机组主要应用于高频节拍的真空应用，包括大面积镀膜（如光伏玻璃、建筑玻璃、柔性基材）的连续涂布工艺，具有更快的抽气速率，耐粉尘、高速气流及腐蚀介质带来的磨损，可保持在粗真空阶段的稳定运行。产品优势：1、能耗低，节能超竞品50%；2、高响应，适用高节拍工艺；3、大抽速。

DIC 2026

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