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展商推介丨大冶科技专注于推动中国模具用标准件工业的进步与发展

2023-07-19 16:03

强势突破封锁，国产光刻机半个多世纪的成长日记

来源：世展网分类：工业行业资讯 2023-02-10 11:26 阅读：*****

2025年青岛亚太国际智能装备博览会APIE

2025-07-17-07-20

距离23天

面对全面封锁

我国光刻机水平发展如何？

美国对我国芯片产业的封锁愈加严重，而之所以会被技术封锁，就是因为这项技术仍然是我们的短板···光刻机的技术门槛非常高，不仅是后续芯片制造需要极高的工艺水平，就连制造光刻机本身，也需要各个领域的顶尖技术。而我国高端光刻机发展迟缓，不止在于难以进口成品光刻机设备，即使是生产光刻机所需的关键零件对我国也是禁运的，因此制约了我国高端光刻机技术的发展。

资料显示，1977年，我国最早的光刻机－GK－3型半自动光刻机就已诞生，而当时ASML这家公司还没有出现···苦于当时国内生产工艺尚不成熟，所以虽然起步不晚，但是光刻机技术并没有得到更深入的研究。80～90年代，“造不如买”的思想席卷了大批制造企业，大量进口成品光刻机出现，国产光刻机产业自然出现了衰退。虽然后续一直在追赶国外列强的脚步，但产业环境的落后加上本来就与世界先进企业有差距，使得中国终究没有在高端光刻机领域留下属于自己的痕迹。1999年，科索沃战争爆发，我们看到了美国用电子信息技术瘫痪了南联盟几乎所有网络系统。电子、信息、半导体产业又开始受到重视，“造不如买”转变为“买不如造”。

落后就要挨打，千禧年是全球半导体产业兴旺的时代，也是中国开始重新关注并发展EUV技术的时期，最初开展的基础性关键技术研究主要分布在EUV光源、EUV多层膜、超光滑抛光技术等方面。2008年，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项将EUV技术列为下一代光刻技术重点攻关的方向。中国企业将EUV列为了集成电路制造领域的发展重点对象，并计划在2030年实现EUV光刻机的国产化；2016年，清华大学“光刻机双工件台系统样机研发”项目成功通过验收，标志中国在双工件台系统上取得技术突破，在实现光刻机国产化万里长征上踏出了重要一步；

2017年，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（02专项）实施管理办公室组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会。专家评审充分肯定了项目取得的一系列成果，一致同意项目通过验收，认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步；2018年，国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片...

2019年开始，美国加大光刻机和芯片的封锁，打断了全球芯片产业链，我国光刻机研发开始加速，通过开发小芯片技术、特色工艺技术等满足国内芯片的需求，业界人士认为14纳米工艺足以满足中国大约七成的芯片需求，事实上也如此，中国这几年的芯片产业依然保持了快速发展的势头。日前上海昆山的同兴达公司有两台国产光刻机进驻，为上海微电子公司生产。

可以看到，在光刻机的自主研发进程上，中国也取得了很大的进步。但是想要赶上国际列强的水平，仍然需要更多的努力。除了政策与学术科研单位的大力支持以外，不少企业也积极投身于此，比较知名的有上海微电子装备、合肥芯硕半导体、无锡影速半导体、先腾光电科技等等。

总而言之，我国光刻机技术发展较晚，这种需要技术积累的领域也没法像5G这种新兴技术一样能够“后来居上”，目前国产光刻机技术还在起步探索阶段，虽然取得了一些小成就，但离ASML这种光刻机巨头的先进工艺技术还有很大差距。西方国家的技术封锁会给我们带来阵痛，但是这种痛苦的消失只是时间问题，在这个周期内越痛苦，未来就会越自由。所以从另一个角度来说，外国对中国的针对，真的加快了我们在很多领域的进步。

封锁不成

美国芯片产业蒙受损失

日前统计数据就显示2022年中国的芯片进口量减少了970亿颗，12月份就减少了130亿颗，比此前的减少速度更快，凸显出中国芯片加速以国产芯片替代进口芯片，特别是美国芯片，早前日媒拆解中国一家科技企业的小基站就发现来自美国的芯片占比仅剩下1％，而此前可是达到27％。

随着中国芯片加速以国产芯片替代美国芯片，导致美国芯片近期公布的业绩都显示出现了大幅度下滑，Intel、美光等更是出现了亏损，凸显出中国芯片加速替代美国芯片后，美国芯片开始面临难以卖出的境况。

面对如此境况，美国却不思悔改，反而变本加厉，早前就传出它已拉拢日本、荷兰，限制对中国出售相关的芯片设备，意图以此进一步阻止中国芯片产业的发展，然而中国芯片产业显然不会如它所愿。

这次同兴达公司引入两台国产光刻机，就意味着国产芯片并未因此而停止前进的脚步，反而进一步以国产光刻机替代ASML的光刻机，也说明国产光刻机的技术已得到进一步的发展，在一些芯片制造环节已足以替代ASML的光刻机。

中国芯片产业大举采购国产芯片设备，对于国产芯片设备行业其实是有利的，它们可以通过占领国内市场，获得更多收入，有了足够的收入将进一步加快芯片设备的研发。ASML的高管就表示可能只要两三年时间，中国就能研发出先进光刻机，到那时候中国的芯片制造将真正实现纯国产。

比尔盖茨就曾预测过，美国的做法只会导致美国芯片蒙受损失，而中国芯片则会加速发展；NVIDIA也做出了类似的决定，由于中国已研发出GPU芯片，NVIDIA在美国要求限制销售高端GPU芯片后，迅速推出定制的A800芯片，就是担忧如果让中国的GPU芯片企业独占国内市场，将加速技术研发，替代NVIDIA的GPU芯片。

如此多的现象，都说明了中国芯片不会被困难阻住，中国芯片行业将同心同德，加速技术研发，推动国产芯片的发展，让美国的图谋无法得逞。

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