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【重磅】MTM 2023金属世界博览会，展位预订火热，规模扩馆升级

2023-07-19 13:53

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2023-07-19 13:52

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2023-07-17 13:46

2023年版本！钢铁行业鼓励类、限制类、淘汰类生产工艺装备名录！

2023-07-17 13:46

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2023-07-17 13:09

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2023-07-17 13:09

哈工大正式官宣，芯片关键设备取得突破！

来源：世展网分类：金属加工行业资讯 2023-02-21 11:07 阅读：*****

2026年广州国际金属加工工业展览会Asiametal

2026-03-04-03-06

距离246天

据哈尔滨工业大学新闻网消息显示，该校仪器学院胡鹏程教授团队研制的“高速超精密激光干涉仪”荣获首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜金奖。该成果对于推动国产光刻机等芯片制造设备的发展具有重要意义。

近年来，我国开始加快对先进光刻机、先进芯片制造等技术的研发，以摆脱外部供应链造成的影响，独立、自主地生产出企业发展所必需的芯片产品。想要生产高端芯片，就离不开EUV光刻机等芯片制造设备。高端设备是买不来、求不来、换不来的，想要实现突破就必须依赖于自主研发。

近期，哈工大正式对外界官宣，在芯片制造环节中的关键设备取得突破。这又会给国内带来什么样的转机？据了解，哈工大对外界公布的“高速超精密激光干涉仪”可确保光刻机工作台、物镜系统之间的相对位置，填补了国内在该领域长期的技术空白。而且，“高速超精密激光干涉仪”设备的技术突破，也会推动国产光刻机等芯片制造设备的发展。具体来说表现在以下两方面。

（图片来源：新华每日电讯、哈尔滨工业大学）首先，使用“高速超精密激光干涉仪”可以实现光刻机在光刻过程中对晶圆、物镜系统、工作台位置的超精准定位。如果没有配套的激光干涉仪，国产光刻机等设备的调试、生产工作就无法进行。可以说，该设备的核心技术突破，是实现高端光刻机设备国产化的先决条件。其次，该技术还可以被应用于7nm以下制程，为国内发展先进芯片的制造技术增加了一定的技术储备，有助于国产7nm制程芯片技术的发展。

（图片来源：ASML阿斯麦光刻）正如此前ASML首席执行官温宁克所表示“限制高端芯片设备的出货，只会加快中国在该领域投入研发，最终，导致中国拥有自己的先进芯片制造设备。”如今来看，ASML首席执行官温宁克果然没有说错，目前，我国在半导体设备中的很多技术均已实现突破。1月31日，央视报道了位于合肥的国内首条量子芯片生产线，该生产线中有多台生产设备系国内自主研发。