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公司简介

深圳市克洛诺斯科技有限公司（展位号：特E301）主营业务为超精密直线电机运动平台，是半导体集成电路制造装备、及关键零部件核心供应商。以替代国外同类产品为己任，深度配合国内半导体设备厂商国产化。

公司总面积12700平方米，辐射广阔的华南、华东大地，包括交通便捷、环境优美的6200平米深圳总部、3500平方的半导体中心合肥分公司和3500平方的山东济阳大理石生产中心。此外，克洛诺斯在昆山等地，还设有售后服务办事处以及代理，为国内高端设备制造业提供专业和周到的服务。

主营产品

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小蓝动力导轨

小蓝动力导轨是直线电机领域颠覆性的产品，它属于集成版直线电机，结构简单、配件少、易维护、价格低、速度快、精度高。

目前市面上的大部分精密平台导轨还没法产生动力，动力来源全靠安装或固定在导轨上的直线电机和其他部件联合完成，导轨只是在承担支撑和导向作用。小蓝动力导轨创造性地将导轨、直线电机、传感器整合在一起，搭建起一套完整的闭环系统，为这一一体化结构注入“动力”，形成了一种新的产品形态——动力导轨，完美解决了导轨无法产生动力的问题，是直线传动领域终极解决方案。

产品优势：

小蓝动力导轨具有结构简单、配件少、高精度、高速度、高稳定性和高性价比等集中优势，相比传统直线电机，在保证±3um的重复定位精度和4m/s的传动速度的情况下，小蓝动力导轨的各项数据具有传统直线电机模组同等的优势，并且价格便宜一半；相比丝杆，小蓝动力导轨的精度高3倍、速度快3倍，价格便宜20%，在直线电机市场上，具有很高的竞争力。

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克洛诺斯精密平台

克洛诺斯精密平台主要应用于半导体和面板显示行业，其中微米级精密平台应用于3C激光切割、手机屏切割、FPC、陶瓷切割、精密检测行业，纳米级精密平台应用于晶圆检测、晶圆切割、纳米检测、光学光刻、Mini Micro LED、精密LDI光刻、面板显示行业等。2021年发布的气浮运动平台重复定位精度达到±50纳米，可以应用在半导体晶圆制造领域。

克洛诺斯精密平台具有高精密、高稳定性、高一致性的核心优势，加上克洛诺斯多年来积累的7000多种非标精密平台的研发经验，在半导体和面板显示行业具有很大竞争优势。

关于DIC 2022

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