就在明天！机器视觉与人工智能在半导体检测方面的应用

演讲摘要：国际设备和系统路线图 (IRDS) 指出，在其光学临界尺寸 (OCD) 的计量部分，包括散射和光谱椭偏仪（及其变体）在内的技术，将在可预见的未来持续发挥关键作用 [1]。严格波耦合分析（RCWA）方法在结构光栅的光学模拟方面持续受到研究者的青睐。然而，随着表征性能的需求不断增加（更小的结构尺寸、更大的材料库和不断增加的结构复杂度），拥有覆盖所有需求的模拟方法变得愈加重要。特别是涉及到具备表面等离激元性质的金属结构时，RCWA方法的收敛速度会十分缓慢[2]。为了解决这个问题，本研究组开发了使用有限差分时域（FDTD）方法作取代RCWA方法，这一技术是（传统分析方法）更具吸引力的补充和替代方法[3]。这主要因为FDTD提供了一种更通用的策略来解决包括非周期性结构在内的复杂形貌的计算。在本次报告中，我将首先回顾光学计量的当前趋势。然后，我将说明使用FDTD来模拟宽光谱范围内等离子体结构的光谱椭偏（SE）响应。我们的开发让计算速度得到提升，并且实现了通过粒子群算法来搜索最佳拟合参数的功能。

最后，我会提出对于其它在半导体光学计量领域里具有挑战性的方法的分析及展望。

香港应用科技研究院物联网感测技术部 高级经理