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就在明天！卡尔蔡司带你了解光谱量测技术在半导体前道制造工艺中的应用

来源：世展网分类：光电行业资讯 2022-04-27 18:19 阅读：11877

2025年成都西部光电展-成都光博会CCWPE

2025-11-06-11-08

距离149天

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备注：半导体制造

课程主题

《光谱量测技术在半导体前道制造工艺中的应用》

课程时间2022年4月28日（周四）15:00-15:30 线上直播，15:30-16:00 群内交流课后问答我们在课前向群内小伙伴收集了部分问题，课后讲师将逐一解答：1、刻蚀过程中一般用到什么波段？2、是单点的位移测量还是一条线上的位移测量？光斑的典型尺寸大概是多少？3、蔡司的光谱仪杂散光目前可以做到什么水平？

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备注：半导体制造

课程PPT剧透

课程提纲

半导体前道制造工艺概况

前道制造过程中主要有哪些工艺需要用到光谱量测技术

光谱量测技术面临的挑战与机遇

嘉宾介绍

Dr. Marianne Heilmann

卡尔蔡司光谱有限公司

产品经理

Dr. Marianne Heilmann目前担任卡尔蔡司光谱有限公司光谱仪模块的产品经理。她在耶拿大学和阿德莱德大学主攻物理学专业并在耶拿大学取得理论物理学的博士学位。在加入卡尔蔡司光谱有限公司之前，她从事压电纳米定位的研发工作。

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届时将在群内公布线上直播课堂链接，课后将在群内答疑解惑。

大量事实表明：上课人数越多，提问的同学越多，可以学到的知识也就越多！欢迎大家分享转发下图到朋友圈，呼朋唤友一起听课~

CIOE精密光学展&摄像头技术及应用展是亚太地区极具影响力的光学行业专业展览会，展会汇聚光学元件及材料、镜头及模组、镀膜、机器视觉、AR&VR、光学测量等光学全产业链板块的优质企业，搭建光学产业生态圈，助力消费电子、先进制造、安防、医疗等光学下游应用企业挖掘行业新应用及新需求，进行商贸沟通达成商业合作，获悉前沿应用、洞察新兴趋势。

第24届中国国际光电博览会(CIOE)将于2022年9月7-9日在深圳国际会展中心（宝安新馆）隆重举办！

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