行业盛会 | 离子束微纳加工设备与工艺技术创新论坛圆满举办

12月7-9日，为期三天的“离子束微纳加工设备与工艺技术创新论坛”以线上+线下的会议形式成功举行！论坛邀请到来自国内光电行业多位资深大咖和专家，就离子束溅射技术、离子束辅助镀膜技术及微纳加工技术与应用三大主题，分享离子束技术前沿学术动向和最新研究成果，深入探讨在离子束领域的科技创新与工艺技术发展趋势。数位大咖云端齐聚，直播间人气爆棚，吸引了众多业内同行一同观看，堪称一场让人意犹未尽的线上盛会！论坛由博顿光电科技有限公司CMO赵刚主持。

12月7日首场会议以“离子束溅射技术”为主题，邀请到了镀膜界著名专家——中国航天科工集团第三研究院8358所研究员季一勤老师，季老师以《IBS SiO2薄膜特性》为题作报告时指出：光学薄膜研究及应用最广泛的波段是紫外、可见和近红外，波长范围几百nm~几μm，膜层厚度nm~几μm，SiO2薄膜是这个波段最基本的薄膜材料之一。季老师以大道至简的方式将应用广泛而复杂的SiO2薄膜特性及其离子束溅射工艺制备技术讲得十分精彩。

除了行业内知名专家季老师，本场会议还有来自博顿光电CTO刘伟基分享的《Xputter 离子束溅射镀膜装备&新品发布》主题报告，向大家介绍了博顿光电全自主研发的面向超高精度光电器件制备高端装备：天玑系列——IBS-Xputter离子束溅射镀膜设备。

中国国际光电博览会执行总经理杨耕硕 寄语

12月8日会议以“离子束辅助镀膜技术”为主题，邀请到了同济大学教授/博导焦宏飞，为大家分享《高能激光薄膜制备技术》，焦老师从强激光薄膜技术攻关研究，讲到高品质强激光薄膜量产研究，也分享了所在团队在激光薄膜研制方面从“器件”走向“系统”的扩展成果，最后表达了对研究未来的方向及相关展望。

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博顿光电生产工艺总监易洪波以博顿光电“开阳OPIE1550镀膜设备”为例，分享和探讨了国产离子束设备在典型光学薄膜工艺中的应用实践。

博顿光电CEO冀鸣以《离子束微纳加工工艺示范中心》为主题，分享了博顿光电在创新模式、改变行业贡献价值、与行业朋友合作共赢等方面的思考，表达了博顿光电愿意开放胸怀，共创行业新格局的愿景。

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“江苏省光学学会薄膜光学技术专业委员会”寄语 宋总

12月9日会议以“微纳加工技术与应用”为主题，邀请到了湖南大学粤港澳大湾区创新研究院院长段辉高教授、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所/广东长光微纳科技有限公司谭鑫研究员、焦庆斌副研究员，以及联合微电子中心/中国电子科技集团研究员张斌博士为大家做分享。

段辉高教授分享的主题为《极端微纳制造及应用》，段教授表示：从微纳加工的角度来说，我们的初衷始终没变，希望借助不同的手段接触新的原理，能够持续把制造推向极限，从而实现面向原子尺度与精度的制造，同时也需要我们不断发展新原理、新工艺和新装备，而他本人始终相信离子束有大量的发展空间。

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谭鑫研究员、焦庆斌副研究员分享的主题为《基于离子束的衍射光栅制造技术及应用》，由焦老师主讲，他从覆盖面遍及“农轻重、海陆空、吃穿用”各行各业的光谱仪器入手，向大家分享了作为光谱仪器核心部件的衍射光栅离子束制造技术在生活中方方面面的应用，展现了高水平的研究分享。同时向行业公布了中科院长光所和博顿光电合资成立的广东长光微纳科技有限公司，将整合双方优势资源，基于全自主可控的工艺设备，推出高水平的微纳光电器件产品。

张斌博士的报告主要分享了《感存算一体化光电系统与三维异构集成技术》，就主题展开了细致、深入的研讨，讲述了感存算一体光电系统芯片发展、三维异构集成技术发展，以及联合微电子中心CUMEC感存算一体化光电芯片、技术布局等精彩内容。

此次会议还有博顿光电CMO赵刚为大家介绍了微纳加工离子源原理和类型，以及博顿光电微纳加工系列离子源介绍和抛光修型IBF离子束微纳加工应用案例。

“广东省真空学会”寄语 刘会长

“北理工中山研究院”寄语 邵院长

此次论坛汇聚行业知名专家学者，分享各自研究领域的学术成果，为我们展现了一场精彩绝伦的思想盛宴，帮助行业同仁了解离子束技术前沿动向，交流研讨离子束技术优秀解决方案。论坛三天，不止吸引了众多业内同行一同观看，更有很多朋友在会议结束后加入论坛交流群，与专家继续展开热烈讨论，论道行业新动向！

博顿光电核心团队在光电技术、微纳加工工艺和高端装备制造领域具备专业技术研发与设计能力，此次开展“离子束微纳加工设备与工艺技术创新论坛”，旨在与行业资深教授和学者在学术切磋和研究应用中碰撞中出新的火花，共同推动对国内离子束技术创新应用的高水平研究，为我国微纳加工领域的蓬勃发展输入新鲜血液，注入强劲活力。

感谢各位嘉宾的精彩分享，也感谢各位行业同仁的支持，期待下一次相见！

此次线上论坛由博顿光电科技有限公司、中国国际光电博览会（CIOE）、北京理工大学中山研究院共同主办，广东省真空学会、江苏省光学学会薄膜光学技术专业委员会、深圳市光学光电子行业协会协办，并得到了中山市科技局的大力支持。

关于博顿光电

“博顿光电”是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业，2019年认定为国家高新技术企业，2021年获批成立“广东省离子束装备工程技术研究中心”，承担了多项政府科技专项项目。核心团队在光电技术、微纳加工工艺和高端装备制造领域具备专业技术研发与设计能力，在国内离子束技术与装备产品及工艺应用领域处于第一梯队。公司全自主可控的高性能离子源与离子束装备产品广泛应用于离子束镀膜、离子束刻蚀、离子束抛光、离子束清洗等超高精度加工处理工艺场景，已形成消费电子、航空航天、国防军工、生化检测、光通信、泛半导体等多行业领域的客户案例。公司主营业务与产品为：

• 各类高端离子源设备产品：RF射频离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF 专用离子源、其他特种离子源

• 离子束微纳加工装备产品与解决方案提供：离子束薄膜沉积、刻蚀及表面处理 

• 纳米薄膜器件、光栅器件等纳米光电元器件的工艺方案开发与服务 

博顿光电致力于通过离子束核心技术研发及离子束设备的全自主可控，在高性能离子源与离子束微纳加工装备细分领域取得突破，从上游核心部件和关键装备环节解决精密光电行业的“卡脖子”问题，力争成为行业“单打”冠军，有效解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局，有力支撑我国精密光学、光通信、LED、MEMS、半导体等战略性新兴产业的创新和发展升级，带动相关产业的能力与价值提升。