板级封装新方案！北方华创真空亮相Micro-LED AI算力光互联与玻璃基板先进封装技术展区！

公司介绍

北京北方华创真空技术有限公司（简称“北方华创真空”），系北方华创集团（股票代码：）全资子公司，是国内新能源与新材料领域高端装备解决方案的领军企业。

公司拥有六十余年设备研发制造经验，产品涵盖真空热工（热处理、钎焊、烧结）、薄膜沉积、晶体生长、固化、刻蚀等系列高端装备，广泛应用于半导体、光伏、先进封装、光学、锂电、航空航天、电力电子、显示、医疗等领域。

作为国家级高新技术企业，北方华创真空荣获国家级“专精特新小巨人”、“北京市企业技术中心”、“全国安全文化建设示范企业”等荣誉，主导并参与制定国际、国家及行业标准30余项，累计申请专利800+项。公司总部位于北京，拥有多个先进制造基地，服务体系覆盖韩国、日本、泰国等国家和地区。

北方华创真空始终以客户需求为导向，持续创新，致力于为全球客户提供高端装备与工艺一体化解决方案，推动产业进步，创造无限可能。

产品推荐

产品 1：

板级微波等离子体表面处理系统

产品介绍

板级微波等离子体表面处理系统包含自动传输系统和反应室，主要用于板级封装领域的等离子体去胶、残留物去除，表面改性和处理等干法工艺。支持全自动化生产模式，具备优异的大尺寸刻蚀均匀性和更低的基板表面温度控制，为板级先进封装领域提供高性价比的表面处理应用解决方案。

产品核心亮点

高密度、低损伤等离子体技术

优异的大尺寸刻蚀均匀性

更低的基板表面温度控制

支持大翘曲基板高效传输

产品 2：

板级立式PI固化炉

产品介绍

板级立式PI固化炉包含自动传输系统和炉管反应室，主要用于板级封装领域的PI光胶固化和烘烤去湿等工艺。支持全自动化生产模式，具备优异的颗粒、氧含量和温度控制能力，为探索更小线宽的板级先进封装工艺提供更多可能。

产品核心亮点

优异的颗粒控制能力

高均匀性温度场控制技术

快速升/降温技术

全流程微氧环境控制

支持大翘曲基板高效传输

产品 3：

板级物理气相沉积系统

产品介绍

eVictor/Polaris系列板级物理气相沉积系统包含大气平台、真空传输平台、去气腔室、预清洗腔室以及工艺腔室，能够实现包含钛粘附层与铜籽晶层等多种工艺，eVictor/Polaris系列为全自动大产能设备，具有反应腔自动开闭盖，Panel自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点，设备可同时满足较好的厚度均匀性和Rs均匀性。

产品核心亮点

优异的控温精度、颗粒控制能力和膜厚均匀性

灵活的腔室配置、集成度高、占用空间低

满足多样化镀膜需求、靶材利用率高

针对PLP领域优化，满足大翘曲基板高效传输系统

产品 4：

立式连续镀膜设备

产品介绍

立式连续镀膜设备适用于太阳能、耐蚀涂层、光电涂层、硬质涂层等领域，可满足金属、氧化物、氮化物、碳化物产品直流溅射、射频溅射、中频溅射工艺需求。连续式PVD设备可用于自动化晶界扩渗产线中，采用旋转靶技术，实现重稀土薄膜±5%的高均匀性沉积。立式PVD连续线创新性集成磁控溅射与多弧离子镀双技术路线，拓宽了高端涂层制备工艺场景，并已在客户交付现场完成TGV通孔镀膜工艺验证。

产品核心亮点

有效控制颗粒

灵活的模块化设计，可根据客户需求扩展

可定制化基片幅宽，研发、中试、量产均可

可单/双面镀膜

维护方便快捷，停机时间短

北京北方华创真空技术有限公司

Beijing NAURA Vacuum Technology Co., Ltd.

已确认参加

2026深圳国际全触与显示展

（C-TOUCH & DISPLAY SHENZHEN 2026）

展位号：16A77-D

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更多精彩，尽在2026年10月27-29日深圳国际会展中心（宝安）举办的2026 深圳国际全触与显示展！

关于展会

深圳国际全触与显示展（C-TOUCH & DISPLAY SHENZHEN）将于2026年10月27-29日在深圳国际会展中心（宝安新馆）举办，作为智慧触控和新型显示行业的风向标展会，本届展会将联合COMMERCIAL DISPLAY深圳商用显示技术展、FILM & TAPE EXPO深圳国际薄膜与胶带展、AUTOMOTIVE WORLD CHINA 深圳国际智能网联汽车产业展览会、NEPCON ASIA亚洲电子生产设备暨微电子工业展览会、VisionChina Shenzhen中国（深圳）机器视觉展暨机器视觉技术及工业应用研讨会等多展同期，打造18万平方米的超级展览盛宴。

展会预计吸引3,600多家展商及品牌齐聚现场，展示电子元器件生产及半导体封装测试工艺、新型显示及智慧触控制造、汽车电子技术、消费电子终端产品制造相关的材料及智能制造解决方案，一站式解决采购、技术交流、商务拓展的需求。同期将结合新型显示、智能座舱及车载显示、Mini/Micro LED、OLED、智慧商显、AR/VR可穿戴电子、工控医疗智慧解决方案、Micro LED光互联、玻璃通孔TGV技术等热门话题，设置100余场主题高峰论坛、研讨会及新品发布会集中展示前沿行业动态及发展趋势，邀请超17万全球优质专业买家共赴行业盛会。

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