大尺寸电阻法SiC单晶生长设备及工艺 | 5/16-18，优晶光电邀您深圳国际半导体展！

碳化硅作为作为第三代半导体核心材料，在国防、航空、航天、石油勘探、光存储等领域有着重要应用前景，被广泛应用国民经济的各个领域，如宽带通讯、光伏发电、风力发电、新能源汽车、高速列车、高效电动机、半导体照明、智能电网、超高压输变电等众多行业，对人类科技的发展具有里程碑的意义。下游产业对碳化硅需求增长曲线陡峭，全球碳化硅市场规模持续扩大。仅考虑中国新能源车市场，预计从2020的14.6亿元增长到2024年的164.7亿元，年均复合增长率达83.2%。

今天，请跟随小编来到我国专注碳化硅单晶生长设备优秀企业代表，苏州优晶光电科技有限公司，让优晶带我们一起去了解高品质碳化硅生长设备。

苏州优晶光电科技有限公司成立于2010年，是一家集设计、研发、生产、服务和销售为一体的高新科技型企业。优晶光电一直致力于新材料、新工艺、新装备的研发、制造，并可提供高端装备升级、改造等成套技术服务。

优晶光电总部位于苏州，在深圳，俄罗斯莫斯科、圣彼得堡，德国慕尼黑等地设有实验室和研发中心。并与俄罗斯科学院、等各大高校、科研院所紧密合作，整合全球先进技术力量，不断改进和完善大尺寸晶体生长装备与工艺技术，助力高科技新型材料和下游产业的快速发展。

优晶光电拥有俄罗斯、德国专家30余位。团队专家在各自业务领域均有30年以上的丰富专业技术与实操经验，为优晶光电新装备、新工艺、新材料的研发和技术创新提供强有力的技术支撑。

优晶光电在碳化硅单晶生长设备及工艺领域，获得多项发明专利，实用新型和外观设计专利，以及正在申请和受理中的专利及软件著作权。

2018年，优晶召开全球首套电阻法新闻发布会，向业内人士介绍电阻法碳化硅长晶。UKING电阻法碳化硅长晶设备的出现填补市场空白。2020年初，优晶光电在昆山投建碳化硅基地，进一步扩大国产碳化硅设备量产规模，制造更多高质量晶体，为打破国外碳化硅技术垄断，改变我国碳化硅单晶衬底材料长期依赖进口的被动局面而不懈努力。

衬底制备是碳化硅器件最核心的技术，优晶与俄罗斯LETI法创始人Tairov及其团队开展技术合作，开发优晶UKING电阻法大尺寸碳化硅长晶设备及工艺，目前优晶可量产优晶UKING电阻法大尺寸碳化硅设备及晶体，产出的6英寸及8英寸碳化硅单晶质量国内领先、国际先进。同时，优晶8英寸晶锭指标各项优良，8英寸碳化硅长晶设备也即将问世，已经取得突破性进展。

8英寸晶锭正面(左）8英寸晶锭背面（右）

2014年优晶开启包含碳化硅设备、工艺以及服务的一体化研发。于2016年成功生长出优晶第一颗4英寸碳化硅单晶，同年8月，优晶光电成功完成4-6英寸的扩径研发。目前，优晶在江苏昆山设有30台设备的中试线。优晶反复通过中试线去测试研究，晶体、工艺及技术路线。客户可以直观的在优晶中试线上看到，设备长晶结果。让优晶电阻法长晶的优势在客户面前进行最直观呈现。

目前，国内以感应法设备为主。优晶电阻法设备优势在于，升温过程中，温度曲线线性好，温和升温。尤其是大尺寸晶圆长晶过程中，从晶体中心到边缘的径向温度需要加以合理控制。尺寸越大温度调整把控越难。优晶设备的径向温度和轴向温度可控、可调，相对感应法设备具有控温优势。

工艺优势确保优晶晶体品质易于后道加工。对比从生产前期到生产后期产生的应力较小。晶体应力大，内部就容易产生更多缺陷。晶体应力小，晶体内部微观部分产生的缺陷相对较小。优晶设备有效地提升产品良率，以及更好地保障每一片Wafer之间的一致性，减少缺陷产生。同时，电阻法另一个优势在于，可以很好地在籽晶和石墨上做一些处理，提高籽晶的良率，同时提高石墨件的使用寿命。

优晶从成立到现在始终脚踏实地前进。优晶刚从俄罗斯引入设备时，需要8kg材料生长一颗晶体，生长时间也比较长，要8天左右。经过优晶多年潜心研发，目前5kg材料在5天内就可以生长一颗晶体，且晶锭厚度大于等于20。优晶不断地提升设备性能同时，也在不断优化客户生产成本。

目前，优晶正同多家上市公司深入合作，为其提供扩产的装备及基础工艺支持。通过优晶设备生长出的产品，已通过国内知名外延厂商供货标准验证，客户已拿下大批订单。优晶现年产能在500台以上，下单交期在6-8个月左右，在手订单及意向订单额超20亿元，其中数百台设备已在客户工厂开启量产。预计2023年优晶年产能可达到800-1000台。同时，优晶计划将于2023年底，推出成熟的8英寸量产设备。

优晶客户现场车间

优晶工厂装配车间

优晶为客户构建了完整且灵活售前和售后体系。除了优晶标准设备，客户选购时可根据自身需求，选择是否附带工艺。如客户选择附带工艺，优晶将根据客户提出的技术指标，来完成设备生产。如，客户可以提出长晶厚度需要多少？电阻要到多少？微管、位错需要控制在什么范围？等等要求。优晶可以为客户提供定制化设备服务。

据行业统计，由碳化硅做成的功率器件，每年需求有100万片。目前，我国能批量出货的企业并不多，远远无法满足市场需求，尤其时N型导电型。优晶不仅仅是个设备制造商，还是能为客户持续提供工艺支持以及工艺技术升级迭代的优质技术服务商。优晶一直致力于为客户提供可持续成长、升级的技术服务。

5月16日-18日，优晶光电将重磅亮相第五届深圳国际半导体展，带来其热门商品。欢迎莅临现场洽谈，洞察半导体行业市场趋势，探索新模式新业态，聚力谋求发展！

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