展商推荐｜素珀电子邀您参加SEMI-e第六届深圳国际半导体展

SEMI-e 深圳国际半导体展

展位号：8号馆 8F16

素珀电子科技(上海)有限公司

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公司简介

素珀电子成立于2013年，是一家以洁净机械手臂技术为核心的高新产业。主营产品包括了半导体、太阳能、LED等领域的洁净机械手臂、EFEM、SORTER、真空传送平台等半导体传送设备。

2020年6月在沈阳设立研发生产基地----中科芯微智能装备（沈阳）有限公司，依托着东北地区的地理、资源等先发优势，自成立以来公司合计拥有近百项覆盖洁净机械手臂的核心零部件、控制器等领域的研发专利，十余项国内外资质认证荣誉。

鉴于国外对我国实施的关键半导体生产设备禁售政策，素珀电子致力于实现在半导体设备核心零部件领域的国产替代研发，坚持创新驱动，填补国产替代市场空白。

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主营产品

真空机械手臂

该系列产品采用直驱电机结构，内部无齿轮传动，具有更高的稳定性及可靠性。安全的碰撞保护系统和AWC自动纠偏功能，最大限度保护晶圆，有效提升设备工艺制作效率。产品的软硬件都具有较高的兼容性，兼容各类芯片制造机台，手臂长度可实现客户定制化。

大气机械手臂

该系列产品为用户提供高效安全的夹具解决方案，可搬运50mm-300mm的硅片、碳化硅片、TAIKO片、蓝膜片等，单双臂可选的大气结构机械手，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点，个性化定制的手臂尺寸，迎合各类机台，被广泛应用于ETCH、PVD、PECVD、MOCVD、CMP、COATING、CLEAN、DETECT、TRACK等半导体设备，灵敏、高效、准确的Mapping功能是该系列机械手臂的核心功能之一，为进出料提供准确的Wafer数据。

EFEM

该系列产品致力于为用户提供高集成、高性能的晶圆传输设备，可兼容标准的SEMI界面系统，高度模块化，使设备的主要模块实现选配与定制，为用户提供较为灵活的应用解决方案，国内领先的产品结构，从软件到硬件可保证人员、设备与晶圆在整个传输过程中的洁净度与安全性。

真空传送平台

TM平台形状可以设计成四边形、六边形、八边形及其他多边形或异形；腔体采用一体式加工，洁净度高；根据客户工艺要求进行BUFFER腔和LOADLOCK腔的配置设计，可选配升降机构；提供真空机械手臂，TM平台，VCE，Aligner，EFEM，大气机械手臂等多种组合集成系统解决方案。

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诚挚邀请

素珀电子手握的核心技术已经过大规模订单的实战验证，产品成功跻身半导体洁净机械手臂头部赛道。作为国内首家拥有真空机械手臂批量交付能力的企业，素珀电子已获半导体设备厂商的全面订单，真正实现了大规模订单的批量交付。此次参展，我们将展示一系列产品，包括SPACETRON 7系列真空直驱机械手臂、SPACETRON 8系列真空直驱机械手臂、Aligner等设备进行现场运行，届时还会有专业团队为您提供详细的产品介绍和技术支持，确保您能够全面了解我们的产品优势和应用场景。

欢迎各位业界同仁、专家朋友、学术爱好者们莅临8F16展位进行交流学习！

SEMI-e第六届半导体展

SEMI-e 2024 第六届深圳国际半导体展，6月26-28日在深圳国际会展中心（宝安新馆）4/6/8号馆盛大召开，以【“芯”中有“算”·智享未来】为主题，60,000㎡展出面积，800余家展商，同期举办多场细分行业论坛，预计观众人数达60000+。此次盛会聚焦半导体行业的各个细分领域，展示以设计、芯片、晶圆制造与封装，半导体专用设备与零部件，先进材料，第三代半导体/IGBT，汽车半导体/车规级先进封装技术为主的半导体产业链。全面展示半导体行业的新技术、新产品、新亮点、新趋势，构建起了半导体产业交流融合的新生态。

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深圳国际会展中心（宝安新馆）

第五届第三代半导体产业

发展高峰技术论坛

6月26-27日  6号馆

2024中国汽车半导体大会 

6月26日  4号馆

第六届深圳半导体产业技术高峰会

6月26日  8号馆

SEMl-e诚邀海内外业界企业共赴盛会、共襄盛世！欢迎您来电垂询，共谋发展新格局！！！

参观咨询：王先生 313

参展咨询：贾小姐 785

市场合作：谭小姐 641

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