绿色厂务国际论坛取道Fab低碳升级之路

半导体绿色厂务发展是制造业生态发展的需要，已成为半导体生产发展的重要趋势。绿色厂务通过引入人工智能、物联网、大数据等技术正逐步实现智能化生产，提升生产效率的同时实现能耗降低。另外，绿色厂务重视对高效生产方式的应用，以减少对传统能源的依赖，降低废料排放。

3月22日，SEMICON/FPD China 2024同期论坛：绿色厂务国际论坛成功举办，本次论坛为全球半导体企业提供了分享未来芯片厂低碳趋势方案、能效管理关键、产业链重点环节构建的平台，共同交流对未来半导体绿色厂务发展的战略规划。

华为数字能源技术有限公司中国区数字能源精密制造关键供电拓展部部长韩本杰为本场论坛主持。

SEMI全球副总裁、中国区总裁居龙在开幕致辞中表示，随着行业景气复苏，半导体需求逐渐回暖，未来数年将持续增长，需要产能来满足，根据SEMI统计，2022年-2026年有109座晶圆厂启动，全球各地区都将加大对晶圆厂的投资。随着环境保护、资源节约、可持续发展理念的普及，绿色厂务是半导体生产走向高端发展的必然选择。本次论坛聚焦生产工艺优化、提升资源利用效率等话题。

富士康（鸿海）科技集团环保长/副总经理洪荣聪在欢迎致辞中表示，近年来大批本土企业进入中国半导体供应链，反映出一个大时代的变化，半导体产业驱动了AI的发展，同时AI反过来帮助半导体绿色制造生产。本场论坛聚焦通过低碳节能环保方式协助半导体产业百尺竿头更进一步。

在主题演讲环节，京东方科技集团股份有限公司副首席品安与建设官李彦分享了《京东方之绿色厂务》。绿色厂务的发展趋势主要体现在四方面：节能技术变革、废弃物再利用、高效运营管理和数字化AI技术。他讲解了京东方绿色厂务通过在中心化管理模式、显示工厂能源结构、节能技术应用、水资源利用率提升、废弃物资源化再利用、水资源/废弃物再利用、数字化管理平台等方面积极布局，提高工厂运维质量和效率，推动节能降耗工作，助力工厂高效运营。

深圳市亿天净化技术有限公司总经理夏群艳带来了《半导体洁净室及相关受控环境全生命周期诊断式分析——工艺良率、能耗管理、运行管理》主题演讲。由于精密机械工业、半导体工业等对环境的高要求，促进了洁净室技术的发展，目前在精密机械、半导体、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。粉尘颗粒物、化学污染物是影响产品良率的主要因素，也是电子半导体洁净室的重点管控对象，采取闭环式运行管理是保证洁净室持续受控、超常发挥功效和节约成本的重要环节。

润鹏半导体（深圳）有限公司总监史继承在主题演讲《绿色厂务设计与实践》中指出，随着全球环境问题的日益严重，绿色厂务设计已成为企业可持续发展的重要组成部分。设计上应遵循全生命周期设计的原则，即在规划设计、建造、运营等方面都要考虑环境影响和资源效率，目标是实现企业的可持续发展，具体包括降低能耗、减少排放、提高资源利用率、改善工作环境等等。绿色厂务设计的关键技术包括有BIM、节能技术、环保技术、资源综合利用技术等，他针对各项技术作出了详细讲解以及应用场景简述。

中国电子工程设计院股份有限公司数字化技术中心常务副总监程星华的演讲主题为《数字化赋能先进半导体工厂规划设计》。半导体产业面临来自多方面的挑战，以新质生产力推动新型工业化将为行业提供坚实支撑。在产业数字化的趋势下，传统工厂向数字工厂转变，数字孪生技术的应用是实现智能制造的重要手段，可是目前工厂对于仿真技术的使用还不是很普遍。工厂作为生产制造高效可靠经济运行的核心载体和重要保障，在规划设计之初就将直接影响建设投资和未来数十年技术迭代，这突显构建全要素、全流程、全系统的数字孪生工厂的重要性与必要性。

施耐德电气（中国）有限公司施耐德电气数字能效首席架构师、全球爱迪生专家曹琳琳讲解了《半导体厂务的数字化场景应用》。从电气角度来看，电子资产的安全、电能质量的监控分析治理、能源费用的数字低碳三方面体现了数字化对于半导体行业的重要性。他认为，未来三五年内，电气数字化和厂务智能化是智能制造转型下的重要实践模式之一，绿色厂务管理还将融合能源管理、设备管理、运维管理和安环管理。

栗田工业（苏州）水处理有限公司CSV推进部部长刘俊提供了《绿色低碳发展趋势下水处理相关的新思路》。围绕半导体行业的全产业链都存在碳中和的需求，半导体产业不断发展，制造工程数增加，基础元素和种类发生了变化，都需要提高水的利用率和回收率来降低对环境的负荷，同时需要更加适用新材料和高效的清洗方式。他分享了利用机能性水对超纯水供应/排水处理的组合能够为半导体产业制造提供全面的支持。

洪荣聪带来了《半导体可持续创新趋势-以人工智能与物联网引领ESG绿色生产》闭幕演讲。制造业迈向工业5.0阶段，展示了半导体绿色制造新趋势，即ESG由IoT和AI驱动Fab绿色生产的新潮流，这可以有效降低成本及风险，增进半导体厂运营指标，同时达成ESG产品碳足迹减量目标。他讲解了行业目前正在实施的案例，对于如何迈出Fab绿色生产的第一里路提供了思路，首先要进行设备盘点，分级分类建构IoT，然后收集大数据，再进入模型训练与调试，最后实现AI决策运作。未来，环境感测技术将延伸至支撑应用，比如CMP研磨应用、晶圆切割应用、晶圆乘载应用等。他表示，从绿色厂务出发，进行ESG可持续创新，相信红海中也可以创造出一片蓝海。

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