参展企业：量伙半导体设备（上海）有限公司

由中国半导体行业协会和中国电子信息产业发展研究院联合主办，北京赛迪出版传媒有限公司承办的第二十二届中国国际半导体博览会（IC China 2025），已定于2025年11月23—25日在北京国家会议中心盛大启幕。本届博览会秉持“集合全行业资源 成就大产业对接”理念，致力于搭建覆盖半导体产业全链条的一站式对接平台。

量伙半导体设备(上海)有限公司成立于2018年位于上海市浦东新区张江高科技园区。公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售,为半导体制造行业提供高端的设备和高质量的服务。

公司已获得合肥市政府专项基金投资，与北京理工大学成立了联合实验室,与安徽大学、合肥市智能机器人研究院达成深度合作。公司自主研发的6寸、8寸、12寸快速退火炉RTP具有国内领先的技术水平,已在众多IDM、Foundry、研究所、高校、实验室等半导体生产研究单位得到广泛应用,亦获得欧洲、亚洲的客户青睐。

全自动8英寸快速退火炉

工艺温度：RT-1250℃设备规格：

◆应用于6-8英寸wafer

◆全自动操作模式

◆配置Open cassette，Robot取放片

◆冷却方式包括水冷和氮气吹扫

◆MFC控制，3-5路制程气体

◆SEMI认证,支持SECS/GEM

◆升温速率≤150°C/sec(裸片)

双腔全自动6-8英寸快速退火炉工艺温度：RT-1250℃设备规格

◆应用于6-8英寸Wafer

◆应用于碳化硅SiC、氮化稼GaN等第三代半导体领域

◆全自动操作模式

◆Robot取放片

◆冷却方式包括水冷和氮气吹扫

◆MFC控制，3-5路制程气体

◆SEMI认证,支持SECS/GEM

双腔全自动4寸18片快速退火炉

工艺温度：RT-850℃设备规格

◆可同时加工18片4英寸或8片6英寸或2片8英寸晶圆

◆全自动操作模式

◆Robot取放片

◆冷却方式包括水冷和氮气吹扫

◆MFC控制,3-5路制程气体

◆升温速率≤100°C/sec(裸片)

集成电路全自动8英寸快速退火炉

工艺温度：RT-1250℃

设备规格

◆应用于6-8英寸Wafer

◆全自动操作模式

◆配置Loadport，Robot取放片

◆冷却方式包括水冷和氮气吹扫

◆MFC控制，3-5路制程气体

◆SEMI认证,支持SECS/GEM

半自动6英寸、8英寸快速退火炉

工艺温度：RT-1350℃

设备规格

◆应用于2-6英寸Wafer,或2-8英寸Wafer

◆冷却方式包括水冷和氮气吹扫

◆MFC控制,3-5路制程气体

◆升温速率≤150°C/sec(裸片)

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联系人：张先生

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