展商动态 | 京仪装备——邀您共赴SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展

9月10-12日，北京京仪自动化装备技术股份有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：13D50

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

北京京仪自动化装备技术股份有限公司，是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、晶圆传片设备(Sorter/EFEM)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。2023年11月29日在上海证券交易所科创板上市，股票简称为京仪装备，股票代码为688652。

展品推介

半导体专用温控设备

产品简介：半导体专用温控设备(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

晶圆传片设备

产品简介：晶圆传片设备(Sorter)是集成电路制造过程中不可或缺的设备之一,主要由洁净大气机械手、晶圆载物台 (Load Port)、晶圆对准器(Aligner)、视觉系统、控制系统和超洁净运行空间组成，可以执行分批\合批\排序\倒片等传片、读取Wafer ID、对齐Notch 口、读\写 FOUP ID、晶圆翻转等任务组合，可接入工厂的自动化系统与天车、Stocker 对接实现全自动化运行。

半导体专用工艺废气处理设备

产品简介：半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）是为半导体、液晶面板等行业中所产生的有毒害化学品提供一个可控制的气体处理环境。针对不同化学品的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式进行化学反应或物理吸附等，以达到绿色环保等级的处理效率和排放标准。我司对半导体专用工艺废气处理设备具备独立的研发技术能力，能够为每一位客户提供优质的产品和技术服务。

9月10-12日，北京京仪自动化装备技术股份有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：13D50