国内首条全国产PVDF-UHP超纯管路系统通水水质合格

近日，我国首条全国产PVDF-UHP超纯管路系统在华东某12英寸集成电路晶圆厂通水水质合格。该项目为国内首条全国产超纯PVDF-UHP管路，水量超1000T/h。所使用的PVDF-UHP管路系统（含阀门、管、接头）均由海普瑞（常州）洁净系统科技有限公司（“海普瑞/HPRAY”）全自主设计制造。

半导体行业的超纯水输送管路系统对于水质的保障非常关键，需要满足极其严苛的金属离子、TOC、微粒子等指标析出要求，在此之前完全依赖进口，供货周期长，近年来甚至需要一年半到两年的订货时间，极度影响半导体工厂的建设进度。由于货源紧缺、货期过长等不确定因素，在行业内被形容为“卡住了半导体制造的动脉”。

海普瑞（常州）洁净系统科技有限公司坐落于江苏省常州市高新技术产业开发区，依托母公司华生管道科技有限公司30余年管路系统研发、制造经验，海普瑞已经发展成为集PVDF、PVDF-UHP、PFA-UHP等材质的管材、管件、阀门研发和制造于一体的超纯管路系统专业生产企业，同时也是测量与控制仪表的专业生产企业。产品最终形成完整的超洁净管路控制系统，在半导体湿法制程中实现超纯水、电子级化学品的输送、控制、循环系统，广泛应用于晶圆厂超纯水系统、光刻胶、光刻机浸润系统、蚀刻、研磨、涂胶显影、化学机械抛光及清洗等领域。公司同时是中国超高纯氟聚合物材料与应用创新联合体发起单位、SEMI会员。公司致力于成为半导体液路超纯管路控制系统领军企业。更多产品信息，请点击左下角“阅读原文”。

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